Блог Ленточки

няющейся в широких пределах) и позволяет определять все элементы, включая водород, гелий, а также различные изотопы элементов и молекулярные осколки [10.91. На рио. 10.10 показан МСВИ-спектр, характеризующий присутствие примесей в серебре.
Разрешение метода МСВИ по глубине определяется глубиной проникновения первичных ионов в образец и глубиной выхода вторичных ионов, участвующих в формировании изображения, и составляет в среднем 1,0—10,0 нм. Разрешение зависит от энергии и природы первичных ионов (чаще всего — это ионы Аг+, О”! и др. с энергией от не-скольких сот до нескольких тысяч электрон вольт; при токах от Ю~12 до 10~5 А), от скорости ионного травления (следовательно, от плотности тока первичных ионов), от материала образца и т. д. и может меняться в довольно широких пределах.
Изменяя плотность первичного ионного тока, можно использовать ионный пучок для микроанализа (при малой плот-носги) и для ионного травления (при большой плотности). Чере-