Блог Ленточки

Метод ОЭС обладает более высокой чувствительностью (в среднем на 1—2 порядка при том же времени измерения), особенно для элементов с низким порядковым номером, более высокой специфической поверхностной чувствительностью, вследствие более низкой энергии Оже-электронов и обеспечивает более быстрый анализ. Важная особенность метода — возможность осуществить комбинацию ОЭС и сканирующий электронной микроскопии для получения информации о связи химического состава с микротопографией поверхности.
Наибольшие трудности при количественном анализе методом ОЭС вызывает нарушение линейной связи между интенсивностью Оже-линий и количеством анализируемых атомов в поверхностном слое. Необходимо вводить коэффициенты обратного рассеяния для учета Оже-эффекта под действием рассеянных электронов, вторичных электронов и т. д. Все же метод ОЭС пригоден для количественного анализа монослоев и в меньшей степени — для слоев большей толщины.
Чувствительность метода МСВИ колеблется в зависимости от анализируемого элемента и условий опыта очень сильно— на несколько порядков. В первом приближении за меру чувствительности можно принять потенциал ионизации: чем он ниже, тем легче обнаруживается примесь. В этом случае чувствительность достигает ррт и даже ppb. Поэтому щелочные металлы обнаруживаются очень легко и встречаются в каждом спектре.
На интенсивность вторичных ионов сильно влияет матрица? уже незначительные загрязнения поверхности металла кислородом, хлором, фтором изменяют количество вторичных ионов на несколько порядков. Кроме того, изменяется спектр обломков, что еще больше затрудняет интерпретацию результатов. Частично влияние матрицы ослабляют, предварительно покрывая поверхность кислородом или применяя ионы кислорода в качестве первичных, — это стабилизирует эмиссию вторичных ионов.