Запись сделана в Среда, 13 января 2010 at 16:03 и размещена в рубрике Проишествия. Вы можете следить за комментариями через ленту RSS 2.0.
Блог Ленточки
Просто о сложном
ДУЯ
шением по глубине. Справа представлен профиль распределения по глубине железа, внедренного в кремниевую подложку. Анализ дублета 66Fe+ — be(Si)2 с отношением М/АМ = 3000 понижает предел обнаружения железа в кремнии до 1019 атомов/см3. Слева — распределение по глубине бора в SiO2. Предел обнаружения 101в атомов/см3. Глубина проникновения растет с ростом энергии падающего пучка.
Разрешение метода МСВИ по поверхности меняется в широких пределах в зависимости от конструкции ионной пушки и составляет от 10 мм2 до 10 мкм2.
Оставить ответ
Вы должны зарегистрироваться для комментирования.