Блог Ленточки

Чувствительность метода оставалась низкой до 1968 г., когда Харрис предложил с помощью сравнительно простых электронных устройств дифференцировать кривые N (Е) для получения Оже-спектров в форме, привычной в настоящее время (рис. 10.3). Это резко увеличило чувствительность метода и позволило вы* делить в спектре сигнал адсорбированных частиц, количество которых составляет около 1 % моноатомного слоя. На рис. 10.4 показан ОЭС-спектр поверхности олова, очищенной путем ионной бомбардировки. Кроме линий олова, обнаружены остаточные загрязнения углеродом, хлором и кислородом.
Электроны с энергией 1—3 кэВ все же проникают в материал на значительную глубину. Однако для «глубинных» Оже-электронов